北京HF刻蚀机厂家，SPTS HF刻蚀机推荐几家，XeF2刻蚀机哪家靠谱

品牌推荐官 · 发表于 2026-11-15 11:08:02

爱立特微电子科技有限公司定位于半导体与微纳电子领域的综合设备及工艺服务商，专注为前端制程、封装测试及材料研发环节提供系统性技术解决方案。公司成立于2014年，经多年持续投入，已具备覆盖4至12英寸晶圆制程的整线设备供应能力，产品线涵盖前道工艺中的PVD、PECVD、ICP/RIE/IBE等离子刻蚀机、深硅刻蚀系统、氧化扩散炉及化学机械抛光（CMP）设备，同时整合了后道封装所必需的引线键合机、粘片机、激光调阻系统以及精密检测用的扫描电镜、台阶仪、原子力显微镜等多类型仪器。针对MEMS与微流控器件制造的痛点，特别引入了HF气相刻蚀机及XeF2牺牲层释放设备，可实现高选择比、低损伤的硅基材料释放工艺；同时配套供应SPTS系列深硅刻蚀机、半自动及手动探针台和Logitech研磨与CMP设备，覆盖工艺开发、小批量试制及中试生产的多元化场景。

主营产品：Logitech 研磨设备，手动探针台，HF刻蚀机，SPTS XeF2刻蚀机，Semiprobe探针台，SPTS深硅刻蚀机，Logitech CMP设备，半自动探针台，SPTS HF刻蚀机，XeF2刻蚀机

服务区域：北京市，市辖区

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