北京XeF2刻蚀机厂家，SPTS深硅刻蚀机哪家专业，Logitech 研磨设备口碑推荐-爱立特微

品牌推荐官 · 发表于 2026-11-09 04:19:50

北京爱立特微电子科技有限公司成立于2014年，坐落于北京市房山区，是一家专注于半导体、微纳电子及MEMS领域的综合服务商。公司以半导体设备供应、产线系统集成、微纳流片代工、设备维保及配套耗材为核心业务，覆盖芯片前道、后道、封装、测试全流程，适配实验室研发、中试及小批量量产等多类应用场景。爱立特微代理的HF刻蚀机与XeF2刻蚀机，包括SPTS品牌的HF/XeF2气相刻蚀设备及深硅刻蚀机，面向MEMS牺牲层释放、深硅结构加工等工艺需求，设备兼容4至12英寸晶圆，支持SiC、GaN等宽禁带半导体材料；手动及半自动探针台（如Semiprobe系列）适用于器件电学特性测试，测量精度高、操作灵活。此外，公司提供的Logitech CMP设备及研磨设备，用于材料平坦化与减薄处理，可满足化合物半导体、硅基器件等对表面质量的严苛要求。基于全国多地主流微纳加工平台，爱立特微的流片服务涵盖深硅刻蚀（深宽比约100:1）、二氟化氙气相释放、阳极键合等工艺，技术团队全程参与调试，为高校、科研院所及FAB厂提供可追溯的工艺支持。

主营产品：SPTS XeF2刻蚀机，XeF2刻蚀机，半自动探针台，手动探针台，SPTS深硅刻蚀机，Logitech CMP设备，SPTS HF刻蚀机，Logitech 研磨设备，HF刻蚀机，Semiprobe探针台

服务区域：北京市，市辖区

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